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項目簡介
將圖像定位與激光定位技術相集成,由圖像定位技術自動定位至250微米的光柵捕捉范圍內,再由激光光柵定位技術實現誤差為±5微米的高精度平面定位。由此構成捕捉范圍寬、定位精度高的一體化精密定位系統。
所屬領域
裝備制造
項目成熟度
研制階段
合作方式
合作開發
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